特種氣體閥。
為純度而設計。
Valonix 製造超高純度隔膜閥、高壓氣體閥、止回閥與歧管面板，用於半導體晶圓廠、光伏產線與實驗室。請瀏覽下方產品系列。
特種氣體閥門，即可選定
真實型號，預先標示接口尺寸、壓力等級與 Cv。依系列篩選或開啟完整型錄。
目前尚無型錄型號符合此系列。 請告知您的氣體、壓力與流量 我們工程師將指定合適的閥。
VX4-LPVX4 低壓 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1/4, 3/8
- 最大壓力300 PSI
- Cv0.27
VX4H-HPVX4H 高壓隔膜閥
- 接口尺寸1/4
- 最大壓力4500 PSI
- Cv0.20
VX8-LPVX8 低壓 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1/2
- 最大壓力300 PSI
- Cv0.70
VT423VT423 三通 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 1/2
- 最大壓力300 PSI
- Cv0.3
CV20LCV20L 高壓氣動閥
- 接口尺寸3/8, 1/2, 3/4
- 最大壓力20 MPa
- Cv依需求提供
VMUVMU 高純度計量閥
- 接口尺寸1/4, 1/2, 6mm
- 最大壓力700 PSI
- Cv計量閥桿 0.019
VX8H-HPVX8H 高壓隔膜閥
- 接口尺寸1/2
- 最大壓力3500 PSI
- Cv0.80
VX12-LPVX12 高流量 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸3/4
- 最大壓力300 PSI
- Cv2.8
VX16-LPVX16 高流量 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1 英吋
- 最大壓力300 PSI
- Cv3.5
VP20VP20 高壓管線隔膜閥
- 接口尺寸3/8, 1/4
- 最大壓力20 MPa
- Cv依需求提供
VB-HPVB-HP 波紋管密封閥
- 接口尺寸1/4、3/8、6mm、8mm
- 最大壓力350 PSI
- Cv0.3
VB8VB8 低壓波紋管密封閥
- 接口尺寸1/2、3/8、10mm、12mm
- 最大壓力500 PSI
- Cv0.80
VB4VB4 低壓波紋管密封閥
- 接口尺寸1/4、3/8、6mm、8mm
- 最大壓力500 PSI
- Cv0.3
VMGVMG 精密計量閥
- 接口尺寸1/4, 1/2, 6mm
- 最大壓力700 PSI
- Cv計量閥桿 0.019
BIBI 儀表球閥
- 接口尺寸1/4, 1/2
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
B3HB3H 三片式高壓球閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 1/2
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
BVIBVI 一體式閥體球閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 1/2
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
B3WB3W 三通球閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 1/2
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
BWBW 焊接閥體球閥
- 接口尺寸1/2, 3/4, 1
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
CWCW 低開啟壓力止回閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 6-12mm
- 最大壓力300 PSI
- Cv依需求提供
CHCH 高壓止回閥
- 接口尺寸1/4, 1/2, 3/4
- 最大壓力6000 PSI
- Cv依需求提供
CVCV 高純度止回閥
- 接口尺寸1/4
- 最大壓力3000 PSI
- Cv依需求提供
NVNV 高純度針閥
- 接口尺寸1/4, 3/8, 1/2
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
RVRV 高純度卸載閥
- 接口尺寸依需求提供
- 最大壓力依需求提供
- Cv依需求提供
WRVWRV 可調卸載閥
- 接口尺寸1/4
- 最大壓力1000 PSI
- Cv依需求提供
UCV20UCV20 CGA/DISS 鋼瓶閥
- 接口尺寸依需求提供
- 最大壓力20 MPa
- Cv依需求提供
CV20ACV20A 氣動鋼瓶閥
- 接口尺寸3/4
- 最大壓力20 MPa
- Cv依需求提供
以純度為核心，而非僅壓力等級
特種氣體閥的潔淨度取決於製造過程中最薄弱的一環。我們將低夾雜物 316L VIM/VAR 閥體、電解拋光接液表面、金屬隔膜或波紋管隔離，以及氦洩漏測試，一併列為單一整套規格要求。
- 金屬隔膜隔離 — 氣體流徑無閥桿填料
- 電解拋光接液表面與受控低硫材料
- VCR 面密封、對接焊與 CGA/DISS 連接選項
- 手動與常閉氣動驅動
- 潔淨室組裝與雙層袋包裝
閥門的安裝位置
七種氣體輸送環境，一套一致的接液標準 — 從鋼瓶櫃到使用點。
半導體晶圓廠氣體輸送
適用於矽烷、NF3、NH3 與摻雜管路的 UHP 隔膜閥、調壓器及 VMB 面板，從氣體場區到使用點。
查看應用 →02 / 07光伏與太陽能電池製造
用於 PECVD、擴散與薄膜產線中矽烷、氨與一氧化二氮分配的高流量 UHP 閥。
查看應用 →03 / 07MOCVD 與 LED 製程氣體
適用於金屬有機前驅物、氫化物與氫氣載氣支路的低死體積切換閥、計量閥與 UHP 閥。
查看應用 →04 / 07實驗室與分析儀器氣體
適用於 GC、ICP、質譜與校正氣體系統的低死體積切斷、計量與止回閥。
查看應用 →05 / 07氫氣與燃料電池高壓閥
適用於儲存瓶組、長管拖車、加氫撬裝與燃料電池測試台的 20 MPa 隔膜閥、止回閥及鋼瓶閥。
查看應用 →06 / 07腐蝕性與毒性特種氣體
適用於 SiH4、NH3、HCl、Cl2 與 NF3 工況、採相容合金的波紋管密封閥與隔膜閥，連鎖作動時常閉。
查看應用 →07 / 07氣櫃與大量氣體分配
適用於氣櫃與散裝集管的鋼瓶閥、高壓隔離、調壓器與切換總成。
查看應用 →+ / 客製您的製程未列出？
請提供氣體清單、壓力與流量。我們將確認您管線適用的閥門系列、接液材質與端部連接。
洽詢工程師 →常見問題
關於閥門選型、作動與端部連接的簡要解答。針對特定氣體、壓力或流量，我們工程師將確認確切型號。
洽詢工程師 → 閱讀全部 8 個問題 →01什麼是特種氣體閥？
特種氣體閥是為高純度、腐蝕性、有毒或自燃性氣體製造的切斷、切換或流量控制閥。與一般工業閥相比，其採用低介在物不鏽鋼、金屬隔膜或波紋管密封、電解拋光接液表面、氦測漏及潔淨室包裝。
02UHP 氣體管線最適合哪種閥型？
UHP 隔膜閥是標準選擇：金屬隔膜將驅動器與氣體路徑隔離，內部體積小，且無閥桿填料會逸氣。
03特種氣體與工業氣體有何差異？
特種氣體或以高純度供應，或具反應性、腐蝕性、毒性或自燃性。相較於氮氣、壓縮空氣等大量工業氣體，其輸送系統在洩漏、潔淨度與材料上需要遠為嚴格的控管。
04是否提供手動與氣動版本？
可以。多數閥門系列可選手動手輪或常閉氣動驅動器。氣動版本的最大壓力額定通常低於手動版本。
05有哪些端部連接可供選擇？
VCR 面密封、軌道式對接焊、壓縮接頭，以及螺紋或 CGA/DISS 鋼瓶連接，視型號而定。