氣櫃大量氣體分配閥
氣櫃與大量氣體分配
鋼瓶櫃是特種氣體進入廠區之處，其內容納鋼瓶連接、高壓隔離、壓力調節、吹掃與排氣，以及常用與備用氣源之間的切換。
Valonix 鋼瓶閥、高壓隔膜閥、調壓器與自動切換系統，構成從鋼瓶出口到分配總管的連貫接液鏈。
氣櫃閥門鏈
標準閥組依序為鋼瓶閥、高壓隔離閥、二段式調壓器、製程隔膜閥、吹掃閥、排氣止回閥與出口隔離。三通閥可取代製程/排氣的 T 型接頭組，並減少需洩漏檢查的接頭數量。
- 鋼瓶閥與高壓隔離
- 二級調壓
- 製程、吹掃與排氣閥門
- 出口至集管的隔離
自動切換
雙氣源切換在更換鋼瓶時維持機台供氣。壓力感測啟動切換，吹掃順序在新支路對製程管線開啟前先將其淨空。
- 常用 / 備用壓力感測
- 開啟新支路前先吹掃
- 不間斷的機台供氣
散裝分配集管
在鋼瓶櫃下游，較大的 3/4 及 1 英吋、Cv 2.8-3.5 隔膜閥用於隔離主管區段。焊接端部可減少永久管線上的潛在洩漏點；需要拆卸的區段則採用面密封。
- Cv 2.8-3.5 主管閥
- 對接焊用於永久管線
- 可拆卸段的面密封
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常見問題
標準氣櫃內有哪些閥？
鋼瓶連接、高壓隔離、調壓器、製程與吹掃隔膜閥、排氣止回閥與出口隔離，通常搭配切換總成。
何時需要自動切換？
當供氣中斷可能導致停產或整批報廢時，例如連續運轉的晶圓廠設備與大型沉積產線。