應用

特種氣體閥門應用

不同氣體與製程對閥門提出不同要求。這些指南涵蓋各產業所用的閥門類型、材質與安全狀態邏輯。

用於半導體廠氣體輸送的 UHP 隔膜閥、調壓器與 VMB 面板：矽烷、NF3、NH3

適用於光伏太陽能電池產線的高純度閥門：為 PECVD、擴散與薄膜沉積輸送矽烷、氨及一氧化二氮。

用於 MOCVD 與 LED 生產的 UHP 閥門：金屬有機前驅物管路、氨、氫化物與載氣氫氣，配備快速吹掃切換。

適用於 GC、ICP、質譜與校正氣體系統的高純度閥：低死體積

適用於氫氣儲存、長管拖車與燃料電池測試台的高壓閥：20 MPa 工況、低洩漏率

SiH4、NH3、HCl、Cl2 與 NF3 的閥門選型：波紋管密封閥與隔膜閥、相容合金、常閉安全狀態。

適用於鋼瓶櫃、氣體場區與散裝分配的閥門：鋼瓶閥、高壓隔離、調壓器。