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特種氣體閥門工程指南
高純度氣體系統的閥門選型、洩漏測試、材質、表面光潔度、端部連接與吹掃實務要點。
如何選定特種氣體閥
特種氣體閥門實用選型指南：氣體相容性、壓力、Cv、端部連接、驅動方式
隔膜閥與波紋管閥
比較特種氣體用 UHP 隔膜閥與波紋管密封閥：死體積、溫度、有毒氣體圍阻
UHP 閥氦測漏率標準
UHP 閥的氦質譜儀測漏如何規範：內側測漏與跨閥座測漏之別
316L VIM/VAR 不鏽鋼，用於 UHP 閥
VIM/VAR 精煉如何改變用於超高純閥體的 316L 不鏽鋼
VCR 面密封與壓縮接頭
比較特種氣體管路的 VCR 面密封與壓縮接頭：氣密完整性、死體積
隔膜閥的 Cv 流量係數
認識 UHP 隔膜閥的 Cv：閥座尺寸如何影響流量、如何依壓降選型
電解拋光與 Ra 表面光潔度
為何電解拋光接液表面與低 Ra 值對特種氣體閥至關重要，以及水分乾燥與微粒控制。
閥門安裝與吹掃實務
安裝 UHP 閥門的現場實務：搬運、面密封組裝、洩漏檢查、吹掃序列，以及製程氣體導入前的乾燥。
潔淨室組裝與雙層袋包裝
UHP 閥如何清洗、組裝與雙層袋包裝，使其送達半導體廠氣體面板時不受微粒或水分污染。
特種氣體安全與材質相容性
特種氣體閥門的安全原則：氣體相容性、失效安全狀態、吹掃與排氣設計，以及供稽核用的文件。