三通隔膜閥
三通隔膜閥
當氣體管線須在製程、吹掃與排氣之間切換時，三通隔膜閥可取代兩或三只獨立的切斷閥。閥體越少，焊接接頭越少、死體積越低，洩漏檢查範圍也越簡單。
本類別閥門
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Valonix 三通閥用於鋼瓶切換面板、VMB/VMP 系統的吹掃順序控制，以及 MOCVD 設備的分流管線；提供手動與氣動版本，端部可選 VCR 面密封或對接焊。
切換拓撲
共用接口通常連接至製程氣源，兩個出口則分別用於製程輸送與吹掃/排氣。請在數據表上確認流路方向：三通閥並非混合閥，且流向會影響閥座負載。
- 一個共用接口加上二個切換接口
- 製程/吹掃或製程/排氣管路
- 訂購時請指定流向
吹掃順序與交叉污染
在不相容氣體之間切換，是特種氣體系統中風險最高的操作。閥門必須在吹掃接口開啟前完全隔離製程接口。附位置回授的氣動版本，更容易向機台控制器證明此順序。
- 先斷後通切換特性
- 供連鎖驗證的位置回授
- 低內部體積縮短吹掃時間
選型與壓力
三通隔膜閥常見規格為 1/4、3/8 及 1/2 英吋接口，Cv 約 0.3，工作壓力 145-300 PSI。氣動切換版本需 70-125 PSI 的驅動器供氣，高於標準二通閥。
- 1/4、3/8 及 1/2 英吋 VCR 接口
- Cv 約 0.3
- 145-300 PSI 工作壓力
典型規格
| 接口 | 3 接口、1 共用 + 2 切換 |
|---|---|
| 接口尺寸 | 1/4", 3/8", 1/2" |
| Cv | 0.3 |
| 工作壓力 | 145-300 PSI |
| 驅動器供氣 | 70-125 PSI 氣動 |
| 端部連接 | VCR 面密封、對接焊 |
常見問題
三通隔膜閥能否混合二種氣體？
不用。它是分流／切換閥。混合氣體需要具備受控流路的專用混合器。
為何驅動器壓力高於標準氣動閥？
切換機構在兩個閥座之間移動，需要額外推力，因此供氣為 70-125 PSI。
三通閥是否減少洩漏點？
是。以單一閥體取代兩只閥門與其連接三通，可將數處焊接或面密封接頭排除於洩漏檢查範圍之外。
正在選定新管線？ 請附上氣體清單、最大壓力、所需 Cv、接口尺寸，以及閥門是否須失效關閉。 取得報價.