工程指南
隔膜閥與波紋管閥
這兩種閥型都把滑動閥桿密封移出氣體流徑，但解決的問題不同。隔膜閥以可撓金屬隔膜作為關閉元件；波紋管閥則保留剛性塞體，並以焊接金屬波紋管密封閥桿。
密封原理
在隔膜閥中，隔膜同時充作關閉件與密封邊界，因此閥座後方不存空腔。在波紋管閥中，波紋管僅密封閥桿，關閉件則是壓向閥座的塞體或閥瓣。
純度與死體積
隔膜閥在內部容積與微粒產生方面佔優，因此成為 UHP 輸配管線的主流。波紋管閥的閥體腔體較大，但能耐受更高的溫度與更具腐蝕性的化學介質。
溫度與腐蝕性介質
在管線受熱，或鹵化物與氫化物侵蝕薄隔膜之處，選用接液合金相容的波紋管密封閥是較安全的規格。
洩漏測試與維護
兩者皆經氦測漏。隔膜屬耗損件，最終需依排程更換；波紋管總成進行全行程測試，通常不進行現場維修。
如何選定
最潔淨的 UHP 輸配、自動化氣體面板與使用點隔離，應選用隔膜閥；毒性、腐蝕性或高溫用途若安全論證要求氣密閥桿密封，則應使用波紋管密封閥。
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常見問題
波紋管閥能否達到 UHP 潔淨度？
其可採潔淨製造，但閥體腔較隔膜閥大，因此並非追求最小死體積時的首選。
哪種閥較適合氯氣？
通常會選用接液材質與鹵化物相容的波紋管密封閥。