MOCVD LED 製程氣體閥門
MOCVD 與 LED 製程氣體
MOCVD 設備常在高溫與真空下，於前驅物與吹掃氣流之間快速切換。這些管線上的閥門必須具備低死體積、快速響應，且不得有滯留前一批前驅物的空腔。
Valonix 三通切換閥、計量閥與 UHP 隔膜閥，用於金屬有機源管路、氫化物輸送、氨與氫氣載氣支路。
快速、潔淨的切換
三通隔膜閥可取代製程/排氣支管上的一個三通接頭與兩只閥，降低死體積並縮短層間所需的吹掃時間，這會直接影響磊晶成長的界面陡峭度。
- 三接口流路/排氣切換
- 低內部容積
- 生長步驟間的短暫吹掃
前驅物與氫化物處理
金屬有機前驅物與氫化物要求嚴格相容的接液材料及氣密隔離。Cv 0.019 的計量閥可設定低前驅物流量；常閉氣動閥則維持氫化物管線的安全狀態。
- 前驅體流量用的精密計量閥桿
- 常閉氫化物隔離
- 依氣體宣告材料相容性
真空與溫度
MOCVD 管線在真空與正壓之間循環，部分並經加熱。在溫度或侵蝕性化學使隔膜閥不適用之處，則指定波紋管密封閥。
- 真空循環能力
- 伴熱管線的考量
- 波紋管閥適用於腐蝕性或高溫工況
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常見問題
為何 MOCVD 進氣／排氣支路要使用三通閥？
它省去三通與多餘接頭，縮短死體積與外延層之間的吹掃時間。
哪種閥控制較低的前驅體流量？
Cv 約 0.019 的精密計量閥可為低流量前驅物提供所需解析度。