UHP 隔膜閥

Valonix UHP 隔膜閥以 316L VIM/VAR 不鏽鋼棒材、電解拋光接液表面及面密封或對接焊端部連接為基礎。其指定用於半導體設備接管、氣櫃、閥門歧管箱及高純度實驗室管路，這些場合須控制水分、氧氣與微粒污染。

為何超高純度氣體採用隔膜設計

隔膜在製程流體與驅動器之間形成氣密屏障。沒有會逸氣的填料、氣體路徑中沒有潤滑劑，也沒有在循環之間滯留製程氣體的空腔。短而平滑的流路也使吹掃更快速，這在切換矽烷、氨或氯化氫等反應性氣體時格外重要。

• 金屬隔膜隔離，接液流徑無閥桿填料
• 低內部體積，利於快速吹掃與低殘留
• 電解拋光接液表面以降低水分殘留
• 面密封、對接焊或壓縮接頭端部連接

材料與表面處理

閥體材料為 316L VIM/VAR 不鏽鋼，以確保低介在物含量與穩定的耐腐蝕性。接液表面經電解拋光後，再進行清洗、乾燥與雙層袋裝，以供潔淨室安裝。隔膜材料依氣體相容性選定：一般高純度用途採用 316L，強腐蝕性鹵化物採用鎳基合金。

• 316L VIM/VAR 閥體，低硫且低夾雜物
• 電解拋光內部流道
• 出廠前經氦測漏
• 潔淨室組裝與雙層袋包裝

選定適當的流量係數

請依所需流量匹配 Cv，而非將閥門選型過大。Cv 0.27 的 1/4 英吋閥座適用於使用點的設備隔離；Cv 0.70-2.8 的 1/2 英吋與 3/4 英吋閥體適用於分支管路；Cv 3.5 的 1 英吋閥體則用於主輸配總管。選型過大的閥門會增加死體積並減慢吹掃循環。

• Cv 0.20-0.27：使用點與儀表隔離
• Cv 0.70-0.80：分支與面板管路
• Cv 2.8-3.5：歧管與高流量分配

典型規格

常見問題