氣體閥門歧管與 VMB

Valonix 以 UHP 隔膜閥、高純度調壓器、止回閥與三通切換閥為核心建置這些總成，因此接液部件共用同一潔淨度標準。

自動切換

雙鋼瓶切換系統可在不停斷設備供氣的情況下，從工作鋼瓶切換至備用鋼瓶。壓力感測觸發切換，吹掃程序會在切換後的管路併入運轉前將其淨化。對晶圓廠設備而言，連續供氣至關重要，因為非預期的氣體中斷會報廢整批晶圓。

• 主用/備用鋼瓶切換
• 自動或手動切換
• 新管路上線前先吹掃

VMB / VMP 構造解析

典型面板包含鋼瓶連接、高壓隔離閥、調壓器、製程隔膜閥、吹掃隔膜閥、排氣止回閥與三通切換閥。連鎖裝置強制操作順序，並在製程氣體導入前確認閥門位置。

• 隔離、調壓、製程、吹掃與排氣閥
• 連鎖吹掃與排氣時序
• 驅動閥的位置回授

我們需要的設計輸入

為配置歧管，我們需要氣體清單、氣源與出口數量、輸出壓力、流量需求、吹掃方案、可用儀表用空氣，以及現場的安全/連鎖設計理念。事先備齊這些資料，可避免已焊接面板事後返工。

• 氣體清單與濃度
• 氣源與出口數量
• 輸送壓力與流量
• 連鎖與 ESD 理念

典型規格

常見問題