光伏太陽能電池製造用氣體閥
光伏與太陽能電池製造
太陽能電池生產在 PECVD、擴散與薄膜沉積設備中大量使用矽烷、氨、一氧化二氮及氮氣。管路尺寸通常大於半導體晶圓廠，因此流量容量與壓力穩定性的重要性不亞於極限純度。
Valonix 供應高流量 UHP 隔膜閥、調壓器與止回閥，供這些輸配系統使用；端部採對接焊與面密封，兼顧永久式主管與可維護的設備連接。
高流量分配
太陽能管線常用 1/2 至 1 英吋分配主管。支路 Cv 0.70 閥與主管 Cv 2.8-3.5 閥可維持低壓降，同時保有潔淨、可吹掃的流路。
- Cv 0.70-0.80 分支閥
- Cv 2.8-3.5 主管閥
- 1/2 至 1 英吋 VCR 與對接焊接口
矽烷安全
矽烷具自燃性。面板應採用常閉氣動閥、專用吹掃支管、吹掃供應側止回閥，以及具連鎖的排氣路徑。閥門位置回授讓控制系統能在製程步驟開始前確認安全狀態。
- 常閉氣動隔離
- 連鎖吹掃與排氣
- 供控制系統使用的位置回饋
不犧牲潔淨度的每條管線成本
PV 工廠有許多並行管線，因此閥門數量龐大。跨尺寸採用單一閥系列可簡化備品、減少認證作業，並讓全廠的接液標準保持一致。
- 單一閥門系列涵蓋所有尺寸
- 常見備品與維護程序
- 接液材料標準一致
推薦的閥門系列
UHP 隔膜閥
超高純度隔膜閥，用於特種氣體輸送。316L VIM/VAR 閥體
高純度止回閥
特種氣體系統用高純度止回閥與單向閥
特種氣體調壓器
高純度與高壓特種氣體調壓器，單段與雙段，入口 600-6000 PSI
常見問題
PV 矽烷管線使用什麼尺寸的閥？
通常支路為 1/2 英吋、主管為 3/4 至 1 英吋，Cv 0.70-3.5 視流量需求而定。
隔膜閥是否適用於矽烷？
可，搭配常閉氣動作動、連鎖吹掃支路與相容閥座材質即可。