適用於腐蝕性有毒特種氣體的閥門
腐蝕性與毒性特種氣體
腐蝕性與毒性氣體使閥門選型成為安全課題。接液合金、隔膜材質、閥桿密封與失效位置，皆須在面板建置前依氣體搭配。
Valonix 供應波紋管密封閥，用於強腐蝕或高溫工況；並供應 UHP 隔膜閥，用於較潔淨的分配管線，材質相容性依申報氣體清單審核。
依氣體別考量
氯與氯化氫會侵蝕多種彈性體，須搭配相容合金；氨在有水分存在時具腐蝕性；矽烷具自燃性；NF3 在製程條件下為強氧化劑。安裝期間的水分滲入往往造成比氣體本身更大的損害。
- Cl2 / HCl：鹵化物相容合金
- NH3：保持系統乾燥
- SiH4：自燃，常閉
- NF3：氧化劑，潔淨且除油
一級密封
焊接金屬波紋管可形成氣密閥桿密封，氣體流徑中不含彈性體；隔膜閥則提供輸配所需的最低死體積。兩者皆經氦測漏，選擇取決於溫度、腐蝕性與純度目標。
- 波紋管：氣密閥桿，適用於腐蝕性或高溫工況
- 隔膜：最低死體積，UHP 管線
- 皆經氦測漏
連鎖與安全狀態
毒性氣體管線上所有作動閥都應採常閉，並將位置回授接線至氣體偵測與緊急停車系統。吹掃與排氣支管需裝設止回閥，以防逆向遷移。
- 氣源或電源中斷時常閉
- 位置回饋至氣體偵測 / ESD
- 吹掃與排氣管路上的止回閥
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常見問題
哪種閥型適用於氯氣？
通常選用接液材質耐鹵化物的波紋管密封閥；請註明濃度與溫度。
這裡的常閉是什麼意思？
當儀表空氣或電力中斷時，閥門會自動關閉，此即有毒氣體管線要求的安全狀態。