工程指南
UHP 閥氦測漏率標準
氦測漏是將清潔閥門轉為合格 UHP 閥門的驗收量測。其以質譜測漏儀執行，可將閥門抽真空後於外部噴灑氦氣（內側洩漏），或將一側以氦氣加壓並在閥座處量測（跨越閥座洩漏）。
閥內與跨閥座為不同的測試
內側洩漏量測閥體、隔膜與閥桿邊界對大氣的完整性；跨座洩漏量測關閉閥對下游側的隔離能力。兩者都應列入規格，只引用其中一項，等於讓半個閥未經驗證。
為何用氦
氦氣為惰性氣體，原子半徑小，在空氣中僅以微量存在，因此偵測器的背景值極低。對於將輸送氫氣、矽烷或其他小分子氣體的系統，它是保守且可重複的追蹤劑。
訂定驗收標準
請註明測試方法、測試壓力、方向、容許洩漏率，以及測試是否在室溫下與循環後執行。當面板將由晶圓廠認證時，請索取逐閥記錄，而非批次證明書。
洩漏率與系統純度
閥門氣密固然必要，但並不足夠。來自組裝、包裝與安裝的水分與微粒，仍是實際污染的主要來源，因此洩漏測試應與電解拋光、潔淨室組裝及雙層袋包裝並列。
現場複查
焊接或重做面密封後，請重新檢查受影響的接頭。通過出廠測試的閥門，若墊片錯位或焊道多孔，安裝後仍可能洩漏。
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常見問題
氦測漏測試是否足以將閥稱為 UHP？
不用。UHP 還涵蓋材料品質、表面處理、清洗、組裝環境與包裝。
我是否應要求逐閥測試記錄？
可，用於半導體廠及其他合格場所；批量證明書的證明力較弱。