工程指南
特種氣體安全與材質相容性
特種氣體系統的閥門選型是安全論證的一環。材料相容性、失效位置、吹掃設計與文件，都必須在連接第一支鋼瓶之前一併納入考量。
建立完整的氣體矩陣
列出每一製程、吹掃、清潔與校準氣體，附濃度、溫度與壓力。相容性問題幾乎總是涉及原始清單上沒有的氣體。
定義安全狀態
對於毒性、自燃性與易燃氣體，驅動閥應在氣源或電力喪失時失效關閉。請記錄各閥如何參與氣體偵測與緊急停機邏輯。
防止逆向遷移
止回閥與適當的吹掃/排氣順序，可阻止反應性氣體進入共用主管或吹掃供應端。只要少裝一只止回閥，就可能讓例行的鋼瓶更換演變成交叉污染事件。
驗證與文件
材質證明、氦洩漏記錄、吹掃程序與連鎖說明請一併保存。稽核與事故調查皆從這套文件開始。
變更管理
每當氣體、濃度、機台或面板配置變更時，請重新執行相容性與安全狀態審查。原範圍內正確的閥門，在新範圍下未必正確。
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常見問題
應先準備哪一份文件？
完整的氣體矩陣，涵蓋製程、吹掃、清洗與校正氣體，並註明濃度與壓力。
為何止回閥是安全項目？
它們可防止活性氣體回流至共用吹掃或排氣主管路。