特種氣體調壓器

它們安裝於鋼瓶閥下游、UHP 隔膜閥上游，後者用於隔離個別支路，使其成為氣櫃或面板的壓力控制中心。

單級與二級

單段式調壓器體積緊湊，在入口壓力相當穩定時即已足夠；二段式在鋼瓶用盡時更能維持穩定的輸出壓力，這對分析儀器、MOCVD 製程及任何流量公差要求嚴格的機台都至關重要。

• 單級：體積小巧，進口壓力穩定
• 二級：鋼瓶壓力衰減時仍穩定輸送
• 面板與鋼瓶安裝選項

進出口範圍

高純度型號入口可達 500-3500 PSI，出口範圍自 0-30 至 0-250 PSI；高壓活塞感測型號入口可達 4500-6000 PSI，最高輸出 3000 PSI。高流量閥體採 3/4 英吋接口，以供大量輸配。

• 進口 500-3500 PSI／高壓至 6000 PSI
• 出口 0-15、0-30、0-60、0-100、0-150、0-250 PSI
• 具 3/4 英吋接口的高流量閥體

隔膜材質與氣體相容性

腐蝕性氣體選用哈氏合金隔膜，一般高純度用途則以 316L 為標準。請務必註明氣體、濃度，以及系統是否處於真空，因為部分彈性體與隔膜材料對鹵化物及氫化物並不相容。

• 哈氏合金或 316L 隔膜
• 聲明氣體與濃度
• 必須聲明真空應用

典型規格

常見問題