VT423 三通 UHP 隔膜閥總覽
VT423 是高純度特種氣體閥，規格為 1/4、3/8、1/2 接口，流量係數為 0.3，最大工作壓力為 300 PSI。三接口切換閥，可取代製程／吹掃與運轉／排氣支路上的三通接頭與兩只閥門，降低死體積與吹掃時間。其適用於高純度氣體系統中，須在不將填料式閥桿密封導入製程流路的前提下，提供潔淨且可重複的切斷或切換功能的場合。
多層金屬隔膜夾持於閥體與閥蓋之間，在製程氣體與驅動器之間形成氣密屏障。接液流道內無滑動軸封、無填料、無潤滑劑，因此微粒產生與滯留體積極低。短而平滑的流道與低內部容積使吹掃週期快速，這在管線於反應性氣體之間切換時尤為重要。端部連接為 vcr 面密封（雄／雌）、對接焊，故同一閥體可用於面密封的設備接管、焊接分配主管或現場施工的計器管路。
主要特點與設計優勢
- 1/4、3/8、1/2 接口、Cv 0.3 — 為三通 UHP 隔膜閥 1/4 VCR 的流量工況選型，無過多死體積
- 300 PSI 最大工作壓力，附強化閥座與經氦測漏的耐壓範圍
- 多層金屬隔膜夾持於閥體與閥蓋之間，在製程氣體與驅動器之間形成氣密屏障。
- 電解拋光接液表面，利於快速乾燥與低水分殘留
- 手動或常閉氣動作動；氣動版本在計器用空氣喪失時失效關閉
- VCR、對接焊、壓縮接頭或鋼瓶標準端部連接，以配合安裝環境
- 可提供潔淨室組裝、雙層袋包裝與逐閥測漏紀錄
技術規格
| 接口尺寸 | 1/4, 3/8, 1/2 |
|---|---|
| 端部連接 | VCR 面密封（公/母），對接焊 |
| Cv | 0.3 |
| 最大工作壓力 | 145-300 PSI |
| 驅動器供氣 | 70-125 PSI |
| 型號代碼 | VT423 |
| 產品系列 | 三通隔膜閥 |
| 閥體材質 | 316L VIM/VAR 不鏽鋼，低夾雜物 |
| 密封元件 | 多層 316L 金屬隔膜，鹵化物可選鎳合金 |
| 接液表面處理 | 電解拋光，典型 Ra 0.25 um（10 uin）或更佳 |
| 洩漏測試 | 氦質譜儀，閥內側與跨閥座；典型 1 x 10^-9 mbar l/s |
| 操作溫度 | 典型：手動 -10 °C 至 +80 °C，氣動 -10 °C 至 +65 °C |
| 驅動方式 | 手動手輪或常閉氣動，60-90 PSI 儀表空氣 |
| 潔淨度 | 經清洗、乾燥與組裝，適用於超高純度氣體用途 |
| 包裝 | 潔淨室雙層袋包裝，密封以備安裝 |
| 文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 |
上述數值為 VT423 型號的標準配置。最終材質、閥座、驅動方式、測試限值與認證，將於隨報價單核發的訂單專用規格確認。
結構與接液材料
多層金屬膜片夾持於閥體與閥蓋之間，在製程氣體與驅動器之間形成氣密屏障。接液流道內沒有滑動軸封、沒有填料也沒有潤滑劑，因此微粒產生與滯留體積極低。VT423 的接液流道以夾雜物含量低、硫含量受控的 316L VIM/VAR 不鏽鋼加工，隨後進行電解拋光。當鹵化物或氫化物氣體有需求時，可改用鎳基膜片或閥座合金。
| 元件 | 標準規格 |
|---|---|
| 閥體 | 316L VIM/VAR 不鏽鋼棒材 |
| 接液表面處理 | 電解拋光，典型 Ra 0.25 um（10 uin）或更佳 |
| 密封元件 | 多層 316L 金屬隔膜，鹵化物可選鎳合金 |
| 驅動器 | 手動手輪或常閉氣動活塞，60-90 PSI 供氣 |
| 製程連接 | VCR 面密封（公/母），對接焊 |
端部連接與接口選項
VT423 通常以 1/4, 3/8, 1/2 接口 訂購。連接方式的選擇會同時影響潔淨度與維護性：VCR 面密封為設備接駁提供可重複的金屬對金屬密封，軌道對焊適用於永久性的高純度主管，壓縮接頭則用於需現場組裝的管線。
| 參數 | 可選配 |
|---|---|
| 標準接口 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 端部連接 | VCR 面密封（公/母），對接焊 |
| 密封標準 | VCR 面密封／軌道對接焊／壓縮接頭／CGA 或 DISS，供鋼瓶使用 |
| 驅動方式 | 手動，或常閉氣動搭配 60-90 PSI 儀表空氣 |
| 選用文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 |
氣體相容性與典型應用
型號 VT423 適用於矽烷 (SiH4)、氨 (NH3)、氯化氫 (HCl)、氯 (Cl2)、三氟化氮 (NF3)、六氟化鎢 (WF6) 及高純度 N2、Ar、He、H2。請務必註明濃度、溫度及任何水分或氧氣限值，以便出貨前確認接液合金與閥座。
- 半導體設備配管與氣櫃隔離支路
- 閥組箱、切換面板與吹掃／排氣支路
- 高純度實驗室、分析儀器與校準氣體管線
- 光伏、MOCVD 與氫氣輸配系統
- 相關應用指南：
- MOCVD 與 LED 製程氣體
安裝、吹掃與搬運
請依 依核准圖所示的流向與接口方向安裝。接合前請保持保護蓋，面密封接頭依規定扭力鎖緊，並在導入製程氣體前以乾燥惰性氣體吹掃。由於內部體積小，通常短暫的循環吹掃即可達到所需濕度。 安裝 VT423。
- 在受控區域戴潔淨手套操作；安裝前切勿拆開雙層包裝袋
- 高純度主管路須採用軌道焊接或認證面密封壓蓋
- 以乾燥 N2 或 Ar 吹掃，並於製程氣體前確認上游水分／氧氣
- 對組裝接點執行氦測漏，再檢查閥內側與跨閥座範圍
- 於系統檔案記錄序號、測漏結果與氣體用途
訂購與配置
請提供型號代碼與下方選項。若氣體具腐蝕性或自燃性，請包含濃度，使隔膜或閥座合金能依工況搭配。
| 訂購參數 | 您的選定 |
|---|---|
| 基礎型號 | VT423 — VT423 三通 UHP 隔膜閥 |
| 接口尺寸 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 端部連接 | VCR 面密封（公/母），對接焊 |
| 驅動方式 | 手動手輪／常閉氣動 (60-90 PSI) |
| 接液合金 | 316L VIM/VAR 標準，依氣體相容性選用鎳基合金 |
| 文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 (CoC，如需請註明) |
準備好指定 VT423 了嗎？
請寄來氣體、壓力、流量與連接細節 — 我們將確認型號、材質與交期。
相關型號與替代方案
三通隔膜閥系列及鄰近群組中，可能適用於不同 Cv、壓力或接口需求的其他閥門。
VX4-LPVX4 低壓 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1/4, 3/8
- 最大壓力300 PSI
- Cv0.27
VX4H-HPVX4H 高壓隔膜閥
- 接口尺寸1/4
- 最大壓力4500 PSI
- Cv0.20
VX8-LPVX8 低壓 UHP 隔膜閥
- 接口尺寸1/2
- 最大壓力300 PSI
- Cv0.70
常見問題
VT423 的主要規格為何？
VT423 供貨規格為 1/4、3/8、1/2 接口，最大工作壓力 300 PSI，Cv 0.3。端部連接為 vcr 面密封（公／母）、對接焊。本頁完整規格表列出材料、洩漏測試、作動方式與潔淨度要求。
VT423 是否適用於 腐蝕性或毒性特種氣體？
適用於矽烷（SiH4）、氨（NH3）、氯化氫（HCl）、氯（Cl2）、三氟化氮（NF3）、六氟化鎢（WF6）及高純度 N2、Ar、He、H2。相容性取決於接液合金與密封元件，因此洽詢報價時請註明氣體與濃度，我們將確認材料選型。
VT423 如何驅動，以及 其安全狀態為何？
標準配置為手動手輪，或以 60-90 PSI 儀表用空氣驅動的常閉氣動驅動器。氣動版本在失去氣源時關閉，此為多數氣櫃與設備接管隔離點所要求的安全狀態。
如何訂購 VT423？
請連同 氣體清單、操作壓力、所需 Cv、接口尺寸、端部連接及驅動方式。可隨訂單提供材料證明、每閥氦測漏記錄及符合性證明。 提供 VT423 型號的報價。