

B3H 三片式高壓球閥總覽
B3H 是高純度特種氣體閥,規格為 1/4、3/8、1/2 接口,流量係數為型號專用,最大工作壓力為額定值。可維護三件式閥體,額定 3000-6000 PSI,適用於高壓氣體隔離,提供壓縮接頭或螺紋端部。其適用於高純度氣體系統中,須在不將填料式閥桿密封導入製程流路的前提下,提供潔淨且可重複的切斷或切換功能的場合。
接液流道保持簡短平滑,並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。閥座與閉合件以受控表面精度加工,使閥門能快速吹掃,且不會在製程循環之間滯留水分。短而平滑的流道與低內部容積使吹掃週期快速,這在管線於反應性氣體之間切換時尤為重要。端部連接為 compression、male npt、female npt,max working pressure: 3000-6000 psi,故同一閥體可用於面密封的設備接管、焊接分配主管或現場施工的計器管路。
主要特點與設計優勢
- 1/4、3/8、1/2 接口,Cv 視型號而定 — 依三片式球閥 6000 psi 流量工況選型,無過多死體積
- 額定值 最大工作壓力,附強化閥座與經氦測漏的耐壓範圍
- 接液流道保持短而平順,並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。
- 電解拋光接液表面,利於快速乾燥與低水分殘留
- 手動或常閉氣動作動;氣動版本在計器用空氣喪失時失效關閉
- VCR、對接焊、壓縮接頭或鋼瓶標準端部連接,以配合安裝環境
- 可提供潔淨室組裝、雙層袋包裝與逐閥測漏紀錄
技術規格
| 接口尺寸 | 1/4, 3/8, 1/2 |
|---|---|
| 端部連接 | 壓縮接頭、公 NPT、母 NPT,最大工作壓力:3000-6000 PSI |
| 型號代碼 | B3H |
| 產品系列 | 高純度球閥 |
| 閥體材質 | 316L VIM/VAR 不鏽鋼,低夾雜物 |
| 密封元件 | 金屬閥座,依氣體選用 PCTFE / PTFE 或硬質聚合物密封元件 |
| 接液表面處理 | 電解拋光,典型 Ra 0.25 um(10 uin)或更佳 |
| 洩漏測試 | 氦質譜儀,閥內側與跨閥座;典型 1 x 10^-9 mbar l/s |
| 操作溫度 | 典型:手動 -10 °C 至 +80 °C,氣動 -10 °C 至 +65 °C |
| 驅動方式 | 手動手輪或常閉氣動,60-90 PSI 儀表空氣 |
| 潔淨度 | 經清洗、乾燥與組裝,適用於超高純度氣體用途 |
| 包裝 | 潔淨室雙層袋包裝,密封以備安裝 |
| 文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 |
上述數值為 B3H 型號的標準配置。最終材質、閥座、驅動方式、測試限值與認證,將於隨報價單核發的訂單專用規格確認。
高純度球閥系列型號比較
請依流量需求而非僅依接口尺寸選擇閥體。下表就驅動氣體系統設計的三項參數(接口尺寸、流量係數、最大工作壓力),將 B3H 與同系列型號比較。
結構與接液材料
接液流道保持簡短平滑,並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。閥座與閉合件以受控表面加工,使閥門能快速吹掃,且不會在製程循環之間滯留水分。B3H 的接液流道以夾雜物含量低、硫含量受控的 316L VIM/VAR 不鏽鋼加工,隨後進行電解拋光。當鹵化物或氫化物氣體有需求時,可改用鎳基膜片或閥座合金。
| 元件 | 標準規格 |
|---|---|
| 閥體 | 316L VIM/VAR 不鏽鋼棒材 |
| 接液表面處理 | 電解拋光,典型 Ra 0.25 um(10 uin)或更佳 |
| 密封元件 | 金屬閥座,依氣體選用 PCTFE / PTFE 或硬質聚合物密封元件 |
| 驅動器 | 手動手輪或常閉氣動活塞,60-90 PSI 供氣 |
| 製程連接 | 壓縮接頭、公 NPT、母 NPT,最大工作壓力:3000-6000 PSI |
端部連接與接口選項
B3H 通常以 1/4, 3/8, 1/2 接口 訂購。連接方式的選擇會同時影響潔淨度與維護性:VCR 面密封為設備接駁提供可重複的金屬對金屬密封,軌道對焊適用於永久性的高純度主管,壓縮接頭則用於需現場組裝的管線。
| 參數 | 可選配 |
|---|---|
| 標準接口 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 端部連接 | 壓縮接頭、公 NPT、母 NPT,最大工作壓力:3000-6000 PSI |
| 密封標準 | VCR 面密封/軌道對接焊/壓縮接頭/CGA 或 DISS,供鋼瓶使用 |
| 驅動方式 | 手動,或常閉氣動搭配 60-90 PSI 儀表空氣 |
| 選用文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 |
氣體相容性與典型應用
當接液合金與氣體相符時,型號 B3H 適用於高純度 N2、Ar、He、H2、O2 及腐蝕性氫化物或鹵化物混合氣體。請務必註明濃度、溫度及任何水分或氧氣限值,以便出貨前確認接液合金與閥座。
- 半導體設備配管與氣櫃隔離支路
- 閥組箱、切換面板與吹掃/排氣支路
- 高純度實驗室、分析儀器與校準氣體管線
- 光伏、MOCVD 與氫氣輸配系統
- 相關應用指南:
- 半導體晶圓廠氣體輸送
安裝、吹掃與搬運
請依 依核准圖所示的流向與接口方向安裝。接合前請保持保護蓋,面密封接頭依規定扭力鎖緊,並在導入製程氣體前以乾燥惰性氣體吹掃。由於內部體積小,通常短暫的循環吹掃即可達到所需濕度。 安裝 B3H。
- 在受控區域戴潔淨手套操作;安裝前切勿拆開雙層包裝袋
- 高純度主管路須採用軌道焊接或認證面密封壓蓋
- 以乾燥 N2 或 Ar 吹掃,並於製程氣體前確認上游水分/氧氣
- 對組裝接點執行氦測漏,再檢查閥內側與跨閥座範圍
- 於系統檔案記錄序號、測漏結果與氣體用途
訂購與配置
請提供型號代碼與下方選項。若氣體具腐蝕性或自燃性,請包含濃度,使隔膜或閥座合金能依工況搭配。
| 訂購參數 | 您的選定 |
|---|---|
| 基礎型號 | B3H — B3H 三片式高壓球閥 |
| 接口尺寸 | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 端部連接 | 壓縮接頭、公 NPT、母 NPT,最大工作壓力:3000-6000 PSI |
| 驅動方式 | 手動手輪/常閉氣動 (60-90 PSI) |
| 接液合金 | 316L VIM/VAR 標準,依氣體相容性選用鎳基合金 |
| 文件 | 材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 (CoC,如需請註明) |
準備好指定 B3H 了嗎?
請寄來氣體、壓力、流量與連接細節 — 我們將確認型號、材質與交期。
相關型號與替代方案
高純度球閥系列及鄰近群組中,可能適用於不同 Cv、壓力或接口需求的其他閥門。
常見問題
B3H 的主要規格為何?
B3H 配備 1/4、3/8、1/2 接口、最大工作壓力為額定值、Cv 型號專用。端部連接為壓縮接頭、npt 外螺紋、npt 內螺紋,最大工作壓力:3000-6000 psi。本頁完整規格表列出材料、洩漏測試、作動方式與潔淨度要求。
B3H 是否適用於 腐蝕性或毒性特種氣體?
當接液合金與氣體相符時,適用於高純度 N2、Ar、He、H2、O2 及腐蝕性氫化物或鹵化物混合氣。相容性取決於接液合金與密封元件,因此洽詢報價時請註明氣體與濃度,我們將確認材料選型。
B3H 如何驅動,以及 其安全狀態為何?
標準配置為手動手輪,或以 60-90 PSI 儀表用空氣驅動的常閉氣動驅動器。氣動版本在失去氣源時關閉,此為多數氣櫃與設備接管隔離點所要求的安全狀態。
如何訂購 B3H?
請連同 氣體清單、操作壓力、所需 Cv、接口尺寸、端部連接及驅動方式。可隨訂單提供材料證明、每閥氦測漏記錄及符合性證明。 提供 B3H 型號的報價。


