VMG · 計量與針閥

VMG 精密計量閥

Name: VMG 精密計量閥
Brand: Valonix
SKU: VMG

精密計量閥，計量（Cv 0.019）與調節（Cv 0.30）雙閥桿，最高 700 PSI。

專為打造 超高純度特種氣體應用，VMG 屬於計量與針閥此系列涵蓋隔離、切換與流量控制。

精密計量閥 700 psi316L 接液閥體經氦測漏

取得報價計量與針閥系列

1/4, 1/2, 6mm接口尺寸

700 PSI最大壓力

計量閥桿 0.019Cv

VCR 面密封連接

VMG 精密計量閥概覽

VMG 是高純度特種氣體閥，規格為 1/4、1/2、6mm 接口，流量係數為計量閥桿 0.019、調節閥桿 0.30，最大工作壓力為 700 PSI。精密計量閥，同時提供計量（Cv 0.019）與調節（Cv 0.30）兩種閥桿，最高可用至 700 PSI。其適用於高純度氣體系統中，須在不將填料式閥桿密封導入製程流路的前提下，提供潔淨且可重複的切斷或切換功能的場合。

接液流道保持簡短平滑，並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。閥座與閉合件以受控表面精度加工，使閥門能快速吹掃，且不會在製程循環之間滯留水分。短而平滑的流道與低內部容積使吹掃週期快速，這在管線於反應性氣體之間切換時尤為重要。端部連接為 vcr 面密封（雄／雌）、對接焊、壓縮接頭，故同一閥體可用於面密封的設備接管、焊接分配主管或現場施工的計器管路。

主要特點與設計優勢

1/4、1/2、6 mm 接口，Cv 計量閥桿 0.019，調壓閥桿 0.30 — 依精密計量閥 700 psi 流量工況選型，無過多死體積
700 PSI 最大工作壓力，附強化閥座與經氦測漏的耐壓範圍
接液流道保持短而平順，並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。
電解拋光接液表面，利於快速乾燥與低水分殘留
手動或常閉氣動作動；氣動版本在計器用空氣喪失時失效關閉
VCR、對接焊、壓縮接頭或鋼瓶標準端部連接，以配合安裝環境
可提供潔淨室組裝、雙層袋包裝與逐閥測漏紀錄

技術規格

接口尺寸	1/4, 1/2, 6mm
端部連接	VCR 面密封（公／母）、對接焊、壓縮接頭
Cv	計量閥桿 0.019，調節閥桿 0.30
最大工作壓力	700 PSI
型號代碼	VMG
產品系列	計量與針閥
閥體材質	316L VIM/VAR 不鏽鋼，低夾雜物
密封元件	金屬閥座，依氣體選用 PCTFE / PTFE 或硬質聚合物密封元件
接液表面處理	電解拋光，典型 Ra 0.25 um（10 uin）或更佳
洩漏測試	氦質譜儀，閥內側與跨閥座；典型 1 x 10^-9 mbar l/s
操作溫度	典型：手動 -10 °C 至 +80 °C，氣動 -10 °C 至 +65 °C
驅動方式	手動手輪或常閉氣動，60-90 PSI 儀表空氣
潔淨度	經清洗、乾燥與組裝，適用於超高純度氣體用途
包裝	潔淨室雙層袋包裝，密封以備安裝
文件	材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書

上述數值為 VMG 型號的標準配置。最終材質、閥座、驅動方式、測試限值與認證，將於隨報價單核發的訂單專用規格確認。

計量閥與針閥系列型號比較

請依流量需求而非僅依接口尺寸選擇閥體。下表就驅動氣體系統設計的三項參數（接口尺寸、流量係數、最大工作壓力），將 VMG 與同系列型號比較。

型號	接口	Cv	最大壓力
VMU	1/4, 1/2, 6mm	計量閥桿 0.019，調節閥桿 0.30	700 PSI
NV	1/4, 3/8, 1/2	-	-

結構與接液材料

接液流道保持簡短平滑，並依氣體選用金屬或硬質聚合物密封元件。閥座與閉合件以受控表面加工，使閥門能快速吹掃，且不會在製程循環之間滯留水分。VMG 的接液流道以夾雜物含量低、硫含量受控的 316L VIM/VAR 不鏽鋼加工，隨後進行電解拋光。當鹵化物或氫化物氣體有需求時，可改用鎳基膜片或閥座合金。

元件	標準規格
閥體	316L VIM/VAR 不鏽鋼棒材
接液表面處理	電解拋光，典型 Ra 0.25 um（10 uin）或更佳
密封元件	金屬閥座，依氣體選用 PCTFE / PTFE 或硬質聚合物密封元件
驅動器	手動手輪或常閉氣動活塞，60-90 PSI 供氣
製程連接	VCR 面密封（公／母）、對接焊、壓縮接頭

端部連接與接口選項

VMG 通常以 1/4, 1/2, 6mm 接口訂購。連接方式的選擇會同時影響潔淨度與維護性：VCR 面密封為設備接駁提供可重複的金屬對金屬密封，軌道對焊適用於永久性的高純度主管，壓縮接頭則用於需現場組裝的管線。

參數	可選配
標準接口	1/4, 1/2, 6mm
端部連接	VCR 面密封（公／母）、對接焊、壓縮接頭
密封標準	VCR 面密封／軌道對接焊／壓縮接頭／CGA 或 DISS，供鋼瓶使用
驅動方式	手動，或常閉氣動搭配 60-90 PSI 儀表空氣
選用文件	材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書

氣體相容性與典型應用

當接液合金與氣體相符時，型號 VMG 適用於高純度 N2、Ar、He、H2、O2 及腐蝕性氫化物或鹵化物混合氣體。請務必註明濃度、溫度及任何水分或氧氣限值，以便出貨前確認接液合金與閥座。

半導體設備配管與氣櫃隔離支路
閥組箱、切換面板與吹掃／排氣支路
高純度實驗室、分析儀器與校準氣體管線
光伏、MOCVD 與氫氣輸配系統
相關應用指南：
MOCVD 與 LED 製程氣體
實驗室與分析儀器氣體

安裝、吹掃與搬運

請依依核准圖所示的流向與接口方向安裝。接合前請保持保護蓋，面密封接頭依規定扭力鎖緊，並在導入製程氣體前以乾燥惰性氣體吹掃。由於內部體積小，通常短暫的循環吹掃即可達到所需濕度。安裝 VMG。

在受控區域戴潔淨手套操作；安裝前切勿拆開雙層包裝袋
高純度主管路須採用軌道焊接或認證面密封壓蓋
以乾燥 N2 或 Ar 吹掃，並於製程氣體前確認上游水分／氧氣
對組裝接點執行氦測漏，再檢查閥內側與跨閥座範圍
於系統檔案記錄序號、測漏結果與氣體用途

訂購與配置

請提供型號代碼與下方選項。若氣體具腐蝕性或自燃性，請包含濃度，使隔膜或閥座合金能依工況搭配。

訂購參數	您的選定
基礎型號	VMG — VMG 精密計量閥
接口尺寸	1/4, 1/2, 6mm
端部連接	VCR 面密封（公／母）、對接焊、壓縮接頭
驅動方式	手動手輪／常閉氣動 (60-90 PSI)
接液合金	316L VIM/VAR 標準，依氣體相容性選用鎳基合金
文件	材質證明、氦測漏紀錄、符合性證明書 (CoC，如需請註明)

需要數據表？ 請將型號 VMG 連同您的氣體清單、壓力、Cv 目標值及連接方式，透過一併寄出。報價表單並將回覆確認後的配置與交期。

準備好指定 VMG 了嗎？

請寄來氣體、壓力、流量與連接細節 — 我們將確認型號、材質與交期。

取得報價

常見問題

VMG 的主要規格為何？

VMG 配備 1/4、1/2、6mm 接口、最大工作壓力為 700 PSI、Cv 計量閥桿 0.019、調節閥桿 0.30。端部連接為 vcr 面密封（公／母）、對接焊、壓縮接頭。本頁完整規格表列出材料、洩漏測試、作動方式與潔淨度要求。

VMG 是否適用於腐蝕性或毒性特種氣體？

當接液合金與氣體相符時，適用於高純度 N2、Ar、He、H2、O2 及腐蝕性氫化物或鹵化物混合氣。相容性取決於接液合金與密封元件，因此洽詢報價時請註明氣體與濃度，我們將確認材料選型。

VMG 如何驅動，以及其安全狀態為何？

標準配置為手動手輪，或以 60-90 PSI 儀表用空氣驅動的常閉氣動驅動器。氣動版本在失去氣源時關閉，此為多數氣櫃與設備接管隔離點所要求的安全狀態。

如何訂購 VMG？

請連同氣體清單、操作壓力、所需 Cv、接口尺寸、端部連接及驅動方式。可隨訂單提供材料證明、每閥氦測漏記錄及符合性證明。提供 VMG 型號的報價。